Radimoラジカルモニター ＜対向型ラジカルモニターDP型＞
世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。
Radimoラジカルモニター ＜対向型ラジカルモニターDP型＞は、エッチング・表面処理・薄膜作製時に発生する気相中の原子状ラジカルを計測し、プロセスへのフィードバックを可能にしたモニタリング装置。世界初のプロセスで使える超小型ラジカル絶対密度計測装置です。プラズマ中の基底準位に存在する原子を吸収分光法により測定、測定対象及び目的により最適構造の選定が可能です。計測用ソフトウエアは名古屋大学堀研究室での研究成果にて校正された最新のものが搭載されています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
- 企業：株式会社片桐エンジニアリング
- 価格：応相談
